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    Title: 直角規絕對標準量測儀
    Authors: 吳, 見明;彭, 國勝
    教師: 吳見明
    Date: 1998/12/1
    Relation: 專利權人:財團法人工業技術研究院
    Keywords: 光學
    干涉式
    直角規
    絕對標準
    量測儀
    圓柱形
    方形
    奈米雷射干涉儀
    絕對標準量測儀
    Abstract: 本發明係有關於一種光學干涉式直角規絕對標準量測儀,特別是有關於圓柱形或方形直角規之絕對標準量測裝置。此直角規絕對標準量測裝置包括:一雷射光源;一直角光束產生元件;一滑台與滑軸;一奈米雷射干涉儀;及一感測頭。本發明之量測儀,特點為以直角規配合奈米雷射干涉儀為基準,其滑臺與滑軸間之滑動時之偏擺(yaw)、俯仰(pitch)及旋轉(roll)均不影響量測值;本發明之另一特點為奈米雷射干涉儀無週期性非線性誤差,且解析度可高於1奈米;本發明之又一特點為直接追溯至光波波長,且可產生絕對直角,無再高一層之追溯標準,故為一絕對標準量測儀。
    URI: http://twpat.tipo.gov.tw/
    http://nthur.lib.nthu.edu.tw/dspace/handle/987654321/58922
    Appears in Collections:[生醫工程與環境科學系] 專利

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