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CMP游離/固定拋光墊之定量評估修整與奈米級拋光墊之研製(I)
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2005
CMP游離/固定拋光墊之定量評估修整與奈米級拋光墊之研製(I)
左培倫
1999
化學機械平坦化實驗機設計實作及製程分析---化學機械平坦化拋光軌跡合理化設計(II)
左培倫
;
賀陳弘
1998
化學機械平坦化實驗機設計實作及製程分析---子計畫一:化機械平坦化實驗機設計實作(I)
宋震國
;
左培倫
;
蕭德瑛
1998
化學機械平坦化實驗機設計實作及製程分析---子計畫二:化學機械平坦化拋光軌跡合理化設計(I)
左培倫
;
賀陳弘
1997
平面六連桿應用在沖床機構上之合成研究
左培倫
2003
熱化學拋光CVD鑽石薄膜之研究與應用(I)
左培倫
2004
熱化學拋光CVD鑽石薄膜之研究與應用(II)
左培倫
2000
矽晶圓表面超精密輪磨之實驗與研究(II)
左培倫
2002
銅製程化學機械平坦化創新技術發展---子計畫II:拋光墊修整策略之研究(II)
左培倫
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