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    National Tsing Hua University Institutional Repository > 工學院  > 動力機械工程學系 > 專利  >  以壓印技術製作微電容式超音波換能器之方法


    Please use this identifier to cite or link to this item: http://nthur.lib.nthu.edu.tw/dspace/handle/987654321/58299


    Title: 以壓印技術製作微電容式超音波換能器之方法
    Authors: 粘, 金重;NIEN, CHIN-CHUNG;賀, 陳弘;張, 明暐;CHANG, MING-WEI
    教師: 賀陳弘
    Date: 2005/10/1
    Relation: 專利權人:財團法人工業技術研究院
    Keywords: 壓印
    壓印技術
    微電容
    超音波換能器
    Abstract: 本發明係有關一種以壓印技術來製作微電容式超音波換能器之方法,其主要係利用一表面具有特定圖案之母模壓印於一可撓性材料中,則將可於該可撓性材料上形成微電容式超音波換能器所需之激振腔體。此一壓印技術除了可使超音波換能器易於大量製造,與降低成本外,並可精確地控制微電容式超音波換能器中激振腔體之幾何尺寸,使電極間之距離縮小至微/奈米尺寸,進而大大提昇超音波換能器之靈敏度。本發明之方法尤徹底改變習知技術製造微電容式超音波換能器之製程步驟,不但可以減少其程序,還可解決習知技術製程參數控制不易,容易造成激振腔體內部污染等問題。
    URI: http://twpat2.tipo.gov.tw/
    http://nthur.lib.nthu.edu.tw/dspace/handle/987654321/58299
    Appears in Collections:[動力機械工程學系] 專利

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