National Tsing Hua University Institutional Repository:垂直型分離閘極式快閃記憶體及其製造方法
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    National Tsing Hua University Institutional Repository > 電機資訊學院 > 電機工程學系 > 專利  >  垂直型分離閘極式快閃記憶體及其製造方法


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    题名: 垂直型分離閘極式快閃記憶體及其製造方法
    作者: 林, 崇榮;曹, 昇巍;郭, 迪生;葉, 壯格;朱, 文定;張, 傳理;謝, 佳達
    教師: 林崇榮
    日期: 2002/6/1
    關聯: 專利權人:台灣積體電路製造股份有限公司
    关键词: 垂直型
    分離閘
    極式
    快閃記憶體
    摘要: 本發明提供一種垂直型分離閘極式快閃記憶體,其包括:一基底具有一溝槽;一環形尖角浮置閘極位於溝槽側壁的下部;一介電層位於環形尖角浮置閘極表面;一控制閘極位於介電層上且延伸至溝槽側壁的上部;一穿遂氧化層位於基底與控制閘極和環形尖角浮置閘極之間;一汲極位於溝槽外側之基底表面;以及一深源極位於溝槽底部且往水平方向延伸。
    URI: http://twpat.tipo.gov.tw/
    http://nthur.lib.nthu.edu.tw/dspace/handle/987654321/58657
    显示于类别:[電機工程學系] 專利

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