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    Title: 快閃記憶體
    Authors: 林, 崇榮;郭, 迪生;陳, 中;陳, 遂泓
    教師: 林崇榮
    Date: 1998/7/1
    Relation: 專利權人:台灣積體電路製造股份有限公司
    Keywords: 快閃記憶體
    懸浮閘極
    控制閘極
    Abstract: 本發明所要揭示的為一種半導體記憶元件其結構包含:一溝渠位於晶圓中;一懸浮閘極區,位於溝渠內,並由晶圓表面向下延伸至該溝渠底部,上述懸浮閘極為一層第一絕緣層包圍做電性隔離;一源極區;一汲極區,其中源極區與汲極區分別位於懸浮閘極之兩側;一控制閘極位於懸浮閘極、源極、與汲極區上方並藉由一第二絕緣層隔開懸浮閘極與控制閘極。
    URI: http://twpat.tipo.gov.tw/
    http://nthur.lib.nthu.edu.tw/dspace/handle/987654321/58686
    Appears in Collections:[電機工程學系] 專利

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