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    Title: 多晶矽薄膜電晶體及其製造方法
    Authors: 張, 鼎張;CHANG, TING-CHANG;劉, 柏村;LIU, PO-TSUN;吳, 永俊;WU, YUNG-CHUN
    教師: 吳永俊
    Date: 2007/4/21
    Relation: 專利權人:國立中山大學 NATIONAL SUN YAT-SEN UNIVERSITY
    Keywords: 多晶

    薄膜
    電晶體
    金屬誘發側向結晶
    離子佈植
    Abstract: 一種多晶矽薄膜電晶體的製造方法,是先提供基板,於基板上形成做為主動區的圖案化非晶矽層。接著,於基板上依序形成閘極與隔離層。之後,於隔離層中形成結晶製程用開口與接觸窗開口。然後進行金屬誘發側向結晶製程,以使非晶矽層轉變為多晶矽層。繼之,進行離子佈植製程,以於閘極與閘極兩側的主動區植入離子。然後,於基板上形成金屬層,並以微影蝕刻定義金屬層而成為數個金屬接點。其中金屬接點經由此些接觸窗開口分別與閘極與閘極兩側的主動區電性相連。由於結晶製程用開口與接觸窗開口在同步驟形成,因此大幅減低了製造成本。
    URI: http://twpat.tipo.gov.tw/
    http://nthur.lib.nthu.edu.tw/dspace/handle/987654321/59010
    Appears in Collections:[工程與系統科學系] 專利

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