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    National Tsing Hua University Institutional Repository > 原子科學院  > 工程與系統科學系 > 專利  >  微型光學讀取頭模組與其製造方法及其接物透鏡之製造方法


    Please use this identifier to cite or link to this item: http://nthur.lib.nthu.edu.tw/dspace/handle/987654321/59015


    Title: 微型光學讀取頭模組與其製造方法及其接物透鏡之製造方法
    Authors: 曾, 繁根;TSENG, FAN-GANG;洪, 國永;HUNG, KUO-YUNG;胡, 恆蒼;HU, HENG-TSANG
    教師: 曾繁根
    Date: 2004/12/11
    Relation: 專利權人:國立清華大學
    Keywords: 微型
    光學讀取頭
    接物透鏡
    特殊斜曝製程
    FRESNEL
    雷射頭
    光感測器
    Abstract: 本發明揭示一種微型光學讀取頭(pickup head)模組與其製造方法及其接物透鏡(objective lens)之製造方法,其係在一透明之基板(substrate)上形成至少兩個FRESNEL面鏡(FRESNEL zone plate),再採用厚膜光阻以特殊斜曝製程(inclined exposure process)而形成與基板相互成銳夾角之一組平面鏡,該組平面鏡之位置分別位於該組FRESNEL面鏡的上方。在該組平面鏡之銳夾角外側之平面分別沈積金屬層,其中一金屬層可使一平面鏡成為反射鏡,另一金屬層可使另一平面鏡成為可半穿透且半反射之分光鏡。在一FRESNEL面鏡相對於該基板之另一表面設置一雷射頭,而另一FRESNEL面鏡相對於該基板之另一表面設置一光感測器。
    URI: http://twpat.tipo.gov.tw/
    http://nthur.lib.nthu.edu.tw/dspace/handle/987654321/59015
    Appears in Collections:[工程與系統科學系] 專利

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